Il processo a 3 nanometri di Samsung é importante perché sarà il primo a impiegare transistor di tipo GAAFET, basati su una nuova struttura rispetto a quella degli attuali FinFET.
In passato, parlando di una SRAM da 256Mb basata su transistor GAAFET, Samsung sostenne di poter ridurre fino al 50% il consumo energetico aumentando le prestazioni fino al 30% incrementando contestualmente la densità di transistor potenziale di addirittura l'80%.